55年1月，我们都在用苏联进口的氧化铈抛光粉。”

    抛光粉首先要求是颗粒度绝对均匀，硬度要稍大于被抛光材料的硬度。光刻机光学镜头用的是质地较硬的玻璃，抛光粉得用氧化铈材质，直径略粗。

    除了颗粒度绝对均匀，还要求无杂质，具有一定的晶格形态及缺陷，有适当的自锐性。

    在加工光刻机镜片时，俗称“红粉”的氧化铁抛光粉就不能满足要求了，从1952年到1955年，长光还分出一组人去研制氧化铈抛光粉，三年乃成。

    而且，玻璃表面的抛光不只用抛光粉一种原料，还有一种原料叫做抛光胶。玻璃表面的加工，先上抛光粉，再上抛光胶。

    长光加工光刻机镜片，第一次用松香抛光胶，精度不达标，失败。现在换上的是沥青-松香混合抛光胶。

    ……

    七车间的尽头，也是整个光学系统制造车间最高技术含量的地方，无尘精抛室。

    在这里，唐华、王大衍、总工先去更衣室，换衣服换鞋、清洁全身、戴泳帽、戴口罩，就跟在隔壁光刻机工厂进入生产线时一样。

    第一台非接触式光刻机昨天试运行时的工艺制程是10微米，和现在北京、上海的上一代生产线一样，不过这台光刻机还有提升的潜力，或许可支持7微米甚至5微米制程。

    这个无尘精抛室里面，镜面加工的精度要求是1微米。

    因此不得不把车间做成绝对无尘的洁净环境。灰尘、烟雾、头皮屑甚至口水都有可能报废已加工了几个小时的高精密抛光面。

    三人进入无尘精抛室，新设备也带进来了，唐华和王大衍一人拉一个小车往车间的工作位走。

    “长光为光刻机系统生产至关重要的零件。你们生产产品的工艺标准，可以说在很大程度上决定了光刻机所能达到的工艺天花板，也就决定了我们的计算机系统有多先进。”

    唐华对总工说话。

    “换句话说，我们的计算机系统的技术进步或者技术革命，必须建立在长光、长光七车间的技术进步、技术革命之上。”

    “好在当今工业体系的每一个类别每一个部门相互之间都是有联系的。就像我刚才说的，光学仪器生产厂和计算机产业已经产生了联系，但我要强调的是，光学仪器和计算机产业的联系不是单向的，而是双向的。”

    “光学仪器生产厂为计算机产业提供了工作母机，相应地，计算机产业也能反过来支持光学仪器厂，帮助你们技术进步、技术革命。这算是反哺，也算是产业技术进步的大回旋。”

    到了精抛室的抛光工位，唐华和王大衍将小车停下来，整理两台小车上放置的设备：

    激光平面干涉测量仪。

    ……

    “激光平面干涉仪是一种非接触式、高精度无损光学表面测量设备。它基于菲索干涉也就是移相干涉原理，通过分析干涉条纹来确定光学表面面形。”

    “激光平面干涉仪可以用于高精度的平面面形、球面面形曲率半径测量和分析。可以做平面楔角测量，也就是给直角棱镜测量直角偏差。其实它也能测量任意角度的加工偏差。还可以做光学材料均匀性测量，角锥角度和面形偏差测量……其实你们厂特别是七车间很多地方都能用到它，你们看到的是第一台产品，接下来苏州方面会有十几台干涉仪往长春送。”

    唐华现场向总工、车间主任、技工们讲解激光平面干涉仪的原理和结构。

    “这是激光平面干涉仪的主机，包含高精机械调节架、氦氖激光电源、倍率成像测微系统。这是透检工作台、这是300毫米的光学平面样板。”

    “这是计算机工作台，有一台工业计算机、一台影像系统和一台14寸的显示监控系统。”

    几个人在唐华的指挥下一起动手，将抛光车间工位上原来的光点目视量具、微米级螺旋测量尺拆到一边，组装激光平面干涉仪。

    “我看看，上一工序结束后，刚才你们记录的镜面读数是多少……就拿这个做参照吧。”

    正在加工的镜片固定在该固定的地方，侧准，打开激光平面干涉仪。

    监视器上显示出了亮亮的圆斑，中间有一些条纹，上面的文字说明也加载上了：

    M1；M2。

    M1和M2是两个波面，一个入射波一个反射波。它们之间存在一个楔角，当两个波面叠加相干时，会得到几个等间距的平行直线干涉条纹。如果被检平面存在曲率，反射波M2就会产生一些偏离，这时候它与入射波M1的干涉条纹就弯了。

    干涉仪在镜片表面上扫过去，亮亮的圆斑的条纹显示出镜面的曲率。扫了没多久，镜面的瑕疵就被找到了：圆斑的条纹不是直的也不是圆弧，而是抖了一抖。